Thin Film Thickness / Rate Measurement
QM20 – PC BASED THIN FILM THICKNESS AND RATE MONITOR
EDFelectronics oferuje tak zwane komputerowe mierniki grubości serii QM20, które łączą w sobie funkcjonalność oscylatora i przetwornika pomiarowego. Wszystkie monitory są instalowane pomiędzy głowicą czujnika a nadrzędną jednostką sterującą (np. PC lub PLC) w atmosferze. Przetwornik dostarcza informacje o częstotliwości kwarcu, szybkości, grubości i stanie kryształu za pośrednictwem jednego z interfejsów szerewgowych, takich jak RS232, RS485, USB lub PoE. Seria monitorów QM20 jest dostępna w standardowej i wysokiej rozdzielczości.
QPM jest dostępny w 8 wersjach:
Poniższa tabela zawiera przegląd dostępnych monitorów do komputerów PC:
QM20-X standardowej rozdzielczości
| QM20-X wysokiej rozdzielczości
| |
| Interfejs: | x=2: RS232 x=4: RS485 x=U: USB x=E: Ethernet / PoE | x=2: RS232 x=4: RS485 x=U: USB x=E: Ethernet / PoE |
| Rozdzielczość (przy 6 MHz): | 0.1 Hz | 0.01 Hz |
| W zestawie program Windows®: | Tak | Tak |
| Obsługiwany kryształ: | 2 | 2 |
| Obsługa zewnętrznego oscylatora: | Tak – (2) konfiguracja za pomocą polecenia szeregowego | Tak – (2) konfiguracja za pomocą polecenia szeregowego |
| Kontrola tempa: | Możliwe ze sterowaniem zewnętrznym | Możliwe ze sterowaniem zewnętrznym |
| Sterowanie przesłonami: | Nie | Nie |
P. QPM60 – MONITOR / KONTROLER
PROCESU OSADZANIA
Jako alternatywę dla monitora opartego na PC, EDF oferuje monitor montowany w szafie. Wielokanałowy monitor QPM60 służy do pomiaru szybkości i grubości w procesach osadzania cienkich warstw. Interaktywny ekran dotykowy TFT umożliwia intuicyjną obsługę i zapewnia wykresy czasowe dla szczegółowej kontroli procesu.
QPM jest dostępny w 3 wersjach: